电子废气主要产生于电子元器件制造、半导体制造、电路板生产等环节。这些过程中使用了大量的化学品，产生了含有挥发性有机物（VOCs）、酸碱废气、粉尘等有害物质的废气。

VOCs：主要来源于电路板生产中的油墨、稀释剂、清洁剂等挥发性有机物，以及电子元器件制造中的焊接、蚀刻、清洗等过程中使用的化学品挥发。

酸碱废气：如硫酸雾、氯化氢、氟化物、氨气等，主要来源于电路板生产中的蚀刻、去膜、显影等工艺。

颗粒物和其他有毒气体：如重金属离子、三氯乙烯、苯乙烯等，主要来源于切削加工、激光加工、电镀等过程。

常见的处理工艺包括吸附法、焚烧法、低温等离子法、催化燃烧法和生物分解法等。

吸附法：利用活性炭等吸附剂去除废气中的有机物，适用于低浓度VOCs。

焚烧法：通过高温燃烧将废气中的有害物质转化为无害物质，适用于高浓度废气。

催化燃烧法：在催化剂作用下，将废气中的有机物在较低温度下氧化，适用于中低浓度有机废气。

低温等离子法：利用高能紫外线光束照射废气，裂解有机物分子链。

生物分解法：利用微生物降解有机废气。

处理后的废气排放浓度显著降低，VOCs去除率可达95%以上，甚至99%。

排放浓度符合国家和地方环保标准，如《电子工业污染物排放标准》等。