项目背景:半导体制造过程中光刻、蚀刻、清洗等环节产生高浓度含异丙醇(IPA)、醋酸乙酯、丙酮等的有机废气,需高效处理以符合环保标准。
废气成分:异丙醇(IPA)、醋酸乙酯、丙酮等VOCs。
处理工艺:
预处理:高效过滤器去除颗粒物和水分。
冷凝回收:深冷或压缩制冷技术冷凝回收部分溶剂,降低VOCs浓度。
活性炭吸附:剩余低浓度废气通过活性炭吸附塔处理。
热再生:活性炭饱和后热空气再生,解吸废气进行燃烧或催化燃烧。
最终效果:VOCs浓度大幅降低,实现达标排放,活性炭再生降低运营成本。
项目背景:涂装作业产生含苯、甲苯、二甲苯等有害VOCs的废气,具有间歇性排放、风量大、浓度波动大的特点。
废气成分:苯、甲苯、二甲苯等VOCs。
处理工艺:
全面收集:抽风系统收集喷涂区域废气。
预处理:干式过滤器去除漆雾颗粒。
沸石转轮吸附:连续吸附低浓度废气,热气流脱附浓缩VOCs。
RTO焚烧:浓缩废气高温燃烧,转化为无害物质。
最终效果:VOCs去除率≥98%,排放浓度≤20 mg/m³,年运行成本节约约600万元,能耗降低40%。
项目背景:化工厂合成反应产生含苯、醇、酮、醛等高浓度有机废气,成分复杂且持续排放。
废气成分:苯、醇、酮、醛等VOCs。
处理工艺:
湿法洗涤:碱液或酸液喷淋塔去除酸碱性气体及部分有机物。
生物过滤器:微生物降解生物降解性好的有机废气。
催化燃烧:贵金属催化剂氧化分解难生物降解的有机物。
最终效果:废气排放浓度显著降低,达到国家排放标准,实现环保合规。
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